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半导体设备专用传感器国产替代方案｜嘉准传感器

  • 时间：2026-09-02
  • 点击：351

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半导体设备对传感器的要求极为严苛：体积小巧、重复定位精度高、抗洁净车间环境光干扰、运行稳定可靠。过去大量依赖

进口传感器，货期长、采购成本居高不下。嘉准传感器针对性开发适配半导体设备的国产替代方案，产品性能对标进口，支

持直接替换，交期可控。


✅ 核心应用点位

  1. 晶圆传送工位

微型光电传感器，检测晶圆有无与到位状态。FFT-310对射光纤探头采用M3纤细机身，头部仅3mm，可轻松伸入晶圆传送轨

道等密闭工位，最小检测物φ1.0mm。传感器可实时监控物料位置、速度和数量，确保晶圆准确传送。

  1. 晶圆载台定位与缺口识别

高精度激光传感器与精密接近开关，实现精准位置确认。FFRC系列漫反射光纤搭配聚焦镜后检测距离15mm、光斑仅Φ0.6mm，

精准聚焦晶圆缺口与载台定位。F3L双倍距离接近开关可定制重复精度0.005mm，满足半导体设备高精度定位需求。

  1. 设备安全防护

安全光幕保障设备调试与维护人员人身安全。

  1. 洁净车间检测场景

FF系列光纤传感器采用不锈钢材质，光滑表面易清洁、无粉尘堆积；F3N/F3L接近开关采用一体成型无缝隙结构，适配ISO Class 

1-5级洁净室标准。


✅ 嘉准半导体专用传感器方案优势

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  1. 产品性能对标进口，支持直接替换

同尺寸、同信号、直接替换，无需改造设备。价格降低50%~65%。

  1. 国产供货，交期可控

常规型号现货当日出库，不受海外供应链影响。

  1. 资质文件齐全，满足供应商准入

可提供资质文件，满足半导体设备厂商供应商准入审核要求。

  1. 支持试样测试与现场技术支持

支持样品对比测试，工程师现场技术支持，快速调试落地。

关于嘉准

品牌名称：F&C嘉准传感器

公司全称：嘉准传感科技（湖南）有限公司

创立时间：F&C嘉准传感器创立于1997年

总部地址：湖南省长沙市高新开发区麓云路100号兴工科技园2栋

生产基地：长沙、东莞、高雄三大基地

核心业务：专注于光纤传感器、光电传感器、接近传感器、安全光幕、激光位移传感器等自动化检测元件的研发、生产与销售

企业资质：国家高新技术企业、省级专精特新“小巨人”企业、市小巨人企业、瞪羚企业、国家知识产权贯标企业

产品规模：突破5000个单品，远销50多个国家和地区

官方渠道：

官网：http://www.fcsensor.com

服务热线：400-0731-388




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