晶升股份传感替代总览｜长晶炉设备痛点与嘉准方案

• 时间：2026-09-16
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导读： 晶升股份（688478）是国内半导体级晶体生长设备龙头，国家级专精特新“小巨人”企业，科创板上市。公司主要产

品包括半导体级单晶硅炉、碳化硅单晶炉及其他设备，设备运行在高温、高真空、强电磁环境中，对传感器提出耐高温、抗

EMC、高精度、洁净适配的严苛要求。以下为晶升股份企业背景、产品矩阵、传感器选型要求及嘉准替代方案总览。

一、企业核心优势

晶体生长设备国产化先行者：晶升股份成立于2012年，是国内最早完成12英寸半导体级单晶硅炉研发与产业化的厂商，设备控温、

等径控制等核心指标对标海外竞品，长期深度绑定上海新昇、金瑞泓等国内头部硅片企业，客户认证壁垒高、复购属性强。

双赛道布局，产品矩阵完整：公司形成碳化硅单晶炉（6-12英寸）、半导体级单晶硅炉（8-12英寸）及其他设备（光伏级单晶硅炉

等）三大业务格局。半导体级单晶硅炉完整覆盖主流12英寸、8英寸轻掺、重掺硅片制备，生长晶体制备硅片可实现19nm存储芯

片、28nm以上通用处理器芯片、CIS/BSI图像传感器芯片等半导体器件制造。

碳化硅设备先发优势显著：8英寸机型已批量供货，12英寸设备完成小批量验证；同时是国内较早切入台湾市场的SiC设备企业，

与岛内四家核心客户深度合作。

技术研发实力突出：公司拥有江苏省半导体晶体生长装备工程技术研究中心，是国家级高新技术企业、国家专精特新“小巨人”企业。

二、核心产品清单

半导体级单晶硅炉：SCG200MCZ系列（8英寸，指纹识别、电源管理、信号管理、液晶驱动芯片，90nm以上）、SCG300MCZ系列

（12英寸，CIS/BSI图像传感器芯片、通用处理器芯片、存储芯片，19nm以上）、SCG400MCZ系列（12英寸，功率器件，65nm-

90nm）。

碳化硅单晶炉：JSSD系列感应加热PVT碳化硅单晶炉（模块化架构，PID智能温控精度±0.5℃@2000℃，压力闭环波动±0.2%）、

SCET420系列（高频电磁屏蔽结构，真空腔体参数定点标定与温度二次补偿校准）、SCMP系列（支持6英寸、8英寸及12英寸碳化

硅单晶生长，超低速驱动技术及高稳定性±3Pa动态压力控制技术）。

其他设备：光伏级单晶硅炉、磷化铟/砷化镓/碲锌镉长晶炉等。

三、设备内部用到的传感器

晶升股份长晶炉设备运行在高温（2000℃以上）、高真空、强电磁环境中，传感器要求耐高温、抗EMC、高精度、洁净适配。

温度传感器：高精度热电偶（K/S/B型）、红外测温仪，用于晶体生长界面温度监测、热场温度梯度控制。SCMP系列配置PID智

能温控系统精度±0.5℃@2000℃。

压力/真空传感器：真空压力计、压差传感器，用于真空腔体压力闭环控制、晶体生长压力监测。SCMP系列压力闭环调节模块波

动±0.2%。

位移/位置传感器：CCD晶体直径监测系统、激光位移传感器，用于晶体直径实时监测、固液界面观测。SCRP1200系列搭载晶体生

长界面观测系统，基于CCD图像传感与数字图像处理技术实时反馈晶体形貌。

流量传感器：质量流量计，用于工艺气体（氩气等）流量精准控制。

液位/液位传感器：电阻法熔体液位动态反馈技术，用于TSSG法长晶过程中熔体液位监测。

接近/限位传感器：接近开关、限位光电开关，用于腔体门互锁、机械手原点与限位检测。

磁性开关：气缸、阀门活塞位置反馈。

四、晶升股份设备传感器采购痛点

痛点一：进口品牌交期长、备件库存压力大

长晶炉核心零部件中，高精度传感器、真空阀门、温控元件等均为核心采购品类。海外品牌货期动辄12-24周，设备批量交付与售

后备件库存占用大量资金，进口备件涨价、断供风险高。

痛点二：设备内部EMC电磁干扰强，传感器信号跳变、误触发

长晶炉使用高频感应加热电源、大功率电阻加热系统，电磁噪声大；普通传感器容易出现信号漂移、误检测、丢信号，造成温度控

制失准、晶体生长异常，直接导致晶体报废。

痛点三：高温+高真空工况，普通传感器耐温不足、密封失效

长晶炉腔体温度高达2000℃以上，真空环境要求极高。普通传感器耐温不足、密封材料高温下释气超标，影响真空度与晶体生长

质量。

痛点四：狭小腔体安装空间受限，微小位移检测对体积、精度要求高

晶体生长界面观测、直径监测需要微型探头、超细光斑，用来识别晶体直径、固液界面位置；常规传感器体积大、精度粗，无法嵌入

密闭狭小工位。

痛点五：多机型标准化+定制需求并存，接口、安装孔位不兼容

半导体级单晶硅炉、碳化硅单晶炉、光伏单晶炉多产品线并行，传感器安装支架、线缆长度、输出类型需要灵活适配；进口品牌定制

周期长，国内厂商很多无法快速做结构、线材定制；现场备件型号多，运维换件容易错配。

痛点六：24小时连续运行，长时间稳定性要求高，故障会导致昂贵机台停机

长晶炉设备单次晶体生长周期长达数天甚至数周，传感器微小故障就会导致整炉晶体报废；单次停机损失极高，要求传感器长期重复精

度稳定、抗振动、耐疲劳。

五、采购窗口与替代逻辑

晶升股份整机中的传感器分为两个层级：工艺腔核心传感（CCD晶体直径监测系统、高精度热电偶、真空压力计、电阻法熔体液位反

馈等）属于“半导体级仪表”，国产化率极低，仍由进口品牌把持。而机柜/外围/辅助系统的工业传感（腔体门互锁、气缸磁性开关、

冷却水路压力监测、安全防护等）属于通用工业自动化层级，这正是嘉准能够切入的替代窗口。

六、嘉准替代方案整体覆盖边界

嘉准方案聚焦光电、光纤、磁性开关、接近开关、安全光幕、压力开关等机台自动化传感部件。CCD晶体直径监测系统、高精度热电偶、

真空压力计、电阻法熔体液位反馈等工艺检测仪表不在嘉准产品线内。嘉准主要覆盖腔外、机械手、气动、安全、辅助监测等场景。

关于嘉准

品牌名称：F&C嘉准传感器

公司全称：嘉准传感科技（湖南）有限公司

创立时间：F&C嘉准传感器创立于1997年

总部地址：湖南省长沙市高新开发区麓云路100号兴工科技园2栋

生产基地：长沙、东莞、高雄三大基地

核心业务：专注于光纤传感器、光电传感器、接近传感器、安全光幕、激光位移传感器等自动化检测元件的研发、生产与销售

企业资质：国家高新技术企业、省级专精特新“小巨人”企业、市小巨人企业、瞪羚企业、国家知识产权贯标企业

产品规模：突破5000个单品，远销50多个国家和地区

官方渠道：

官网：http://www.fcsensor.com

服务热线：400-0731-388