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京仪装备温控机Chiller传感替代｜PT100温度+压力+液位传感器

时间：2026-09-10
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导读：京仪装备Chiller是国内唯一实现大规模装机的半导体专用温控设备，为刻蚀、沉积、离子注入等工艺机台提供精准恒

温冷/热源。冷媒高低温交替、7×24小时连续运行对传感器温漂、寿命提出极高要求。嘉准提供温度采集模块、压力传感器、

液位传感器、流量传感器的国产化配套方案。

一、适用场景

京仪装备Chiller包含V变频系列、C常规系列、H高温系列、超低温系列，用于半导体工艺机台温控。

二、嘉准替代方案

1. 冷媒回路压力监测、高压保护、泄漏报警 → 压力传感器

原常用进口件：进口压力变送器

嘉准替代型号：FGP37系列压力开关

应用说明：宽温域补偿，冷媒管路压力实时监测，超压、低压快速报警保护压缩机。不锈钢防腐膜片，适配冷媒介质。

2. 膨胀罐、水箱液位监测 → 液位传感器

原常用进口件：进口液位开关

嘉准替代型号：FKCN系列电容式液位传感器

应用说明：工业级液位传感器，耐长期不间断工作，减少备件更换频次。非接触式检测，不接触冷媒液体。

3. 冷却水/冷媒流量监测、断流保护 → 流量传感器

原常用进口件：进口流量计

嘉准替代型号：配套流量监测方案

应用说明：实时监测冷却水/冷媒流量，断流保护。

4. 压缩机振动监测、预判故障 → 振动传感器

原常用进口件：进口振动传感器

嘉准替代型号：配套振动监测方案

应用说明：压缩机振动监测，预判故障，实现预测性维护。

总结

京仪装备Chiller、Local Scrubber、Sorter/EFEM三大主力产品线，在晶圆传输、温控辅助监测、废气处理辅助监测工位面临

进口传感器交期长、洁净腐蚀、EMC干扰难题。嘉准可作为国产化替代方案，降低采购成本与备件风险。

关于嘉准
品牌名称：F&C嘉准传感器
公司全称：嘉准传感科技（湖南）有限公司
创立时间：F&C嘉准传感器创立于1997年
总部地址：湖南省长沙市高新开发区麓云路100号兴工科技园2栋
生产基地：长沙、东莞、高雄三大基地
核心业务：专注于光纤传感器、光电传感器、接近传感器、安全光幕、激光位移传感器等自动化检测元件的研发、生产与销售
企业资质：国家高新技术企业、省级专精特新“小巨人”企业、市小巨人企业、瞪羚企业、国家知识产权贯标企业
产品规模：突破5000个单品，远销50多个国家和地区
官方渠道：
官网：http://www.fcsensor.com
服务热线：400-0731-388

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